>>>技术描述>>>

a. 轮廓传感器

A. 指示精度:±(1.5+|2H|/100)μm；

B. 测量范围：60mm；

C. 分辨率：0.04μm（全量程）；

D. 测力：10mN～30mN；

b. 粗糙度传感器

A. 量程：6.4～1000μm；

B. 分辨率：0.1～20nm（随量程变化）；

C. 测力：0.75mN；

c. 驱动部：

A. 指示精度：±(1.0+L/100)μm L=测量长度（mm）；

B. 直线度：

Ø 粗糙度时：(0.05+L/1000)μm L=测量长度(mm)；

Ø 轮廓：1.0um/100mm；

C. 分辨率： 0.016μm（全量程）；

D. 速度：

Ø 0.03～60mm/s（移动时）；

Ø 0.03～20mm/s（测量时）；

d. 立柱

A. 移动范围：450mm；

B. 立柱移动速度：10mm/s；

e. 电源要求：

A. 电压：220V±10%；

B. 接地：必须接地，小于10V；

C. 频率：50Hz；

D. 功率：670W；

f. 气源要求：(除震台用)

A. 供给压力：0.6-0.8MPa；

B. 使用压力： 0.4MPa；

g. 使用环境：

A. 动作保证温度：10～30℃；

B. 精度保证温度：20±5℃；

C. 保管：5～40℃；

D. 湿度：40～60%以下，不可结露。